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        光刻鍵合工藝
       
         
        
      光刻工藝
      Contact Aligner 1:1
      最小線寬:1um
      對準精度:1um(頂部對準)& 2um(底部對準)
      兼容4英寸和6英寸晶圓
      Lift-Off
        
      鍵合工藝
      Si-Glass陽極鍵合
      Si-Si直接鍵合
      Glass-Si-Glass三層鍵合
      Si-Glass-Si三層鍵合
      金屬共晶鍵合
      熱壓鍵合
      粘結劑鍵合

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        封裝測試工藝
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